1.产品简介描述
12mm高纯度PPS棒材,专为半导体设备轴设计,核心特点为无金属杂质,适配半导体行业高洁净要求

2.产品基础信息
本品为12mm直径高纯度PPS棒材,采用电子级高纯度PPS原料(纯度≥99.9%)制成,直径精度±0.03mm。棒材经金属杂质检测,铁、铜、镍等金属离子含量均≤1ppm,满足半导体设备轴对洁净度的基础要求

3.核心性能优势
核心优势为无金属杂质,符合半导体行业SEMIF47标准,能满足设备轴在洁净车间的使用要求:
(1)避免污染晶圆:无金属杂质脱落,防止在半导体设备运行中污染晶圆,保障产品良率;
(2)适配洁净环境:材质本身无粉尘析出,符合半导体洁净车间(Class100)环境要求;
(3)稳定化学性能:高纯度特性确保轴体在半导体工艺环境中(如低湿度、惰性气体)不发生化学反应

4.适用场景
主要适配半导体设备轴场景:
(1)晶圆传输设备轴:如光刻机内部晶圆传输轴,无金属杂质避免污染晶圆;
(2)半导体清洗设备轴:如晶圆清洗槽搅拌轴,高纯度材质不与清洗液反应;
(3)半导体封装设备轴:如芯片封装成型机轴,适配洁净封装环境,保障封装精度

5.采购与服务保障
提供金属杂质检测报告(ICP-MS检测),确保纯度达标;12mm规格现货供应,下单后48小时内发货;收货后15天内可进行洁净度复检,非人为问题支持退换