1.产品简介描述
15-20mm高纯度无杂质PPS板材半导体设备耐刮擦适配半导体设备需求,高纯度防污染,耐刮擦保洁净

2.产品基础信息
本品为15-20mm多厚度高纯度聚苯硫醚(PPS)板材,金属杂质含量≤5ppm,厚度公差±0.08mm。表面粗糙度Ra≤0.2μm,耐刮擦硬度≥HB级,符合半导体洁净车间Class100标准,适配半导体设备部件制作。

3.核心性能优势
(1)高纯度无杂质:原料经多道提纯工艺,无金属离子、粉尘等污染物,避免半导体晶圆加工时因杂质导致良率下降;
(2)强耐刮擦:表面经硬化处理,日常清洁或部件摩擦时不易产生划痕,减少划痕藏污纳垢风险,维持洁净环境;
(3)多厚度适配:15mm厚度适配半导体设备薄型绝缘件,20mm厚度适配结构支撑件,无需拼接满足不同安装需求。

4.适用场景
(1)半导体晶圆载具:15-18mm厚度制作晶圆传输载具,高纯度且防污染;
(2)半导体设备内衬:18-20mm厚度加工设备内部衬里,耐刮擦且易清洁;
(3)光刻设备部件:15mm厚度作为光刻设备精密部件,高纯度适配微米级加工。

5.采购与服务保障
提供纯度检测报告与洁净度认证,确保半导体行业合规;支持洁净包装运输,避免运输过程污染;15-20mm规格现货充足,下单后48小时内发货,售后提供半导体洁净使用指导。