1.产品简介描述
高纯度无杂质PPS板材(15-20mm),专为半导体设备设计,核心具备耐刮擦特性,适配半导体行业高洁净、高精度需求

2.产品基础信息
本品为15-20mm厚度高纯度无杂质PPS板材,采用电子级原生PPS树脂制成,纯度≥99.9%,无金属杂质(铁、铜、镍含量≤1ppm)。板材表面光洁度Ra≤0.4μm,平整度误差≤0.1mm/m,满足半导体设备基础要求

3.核心性能优势
核心优势为高纯度无杂质与耐刮擦,表面硬度达邵氏D88,经500次耐磨测试(负载500g)后无明显划痕,杂质析出量≤0.001mg/cm2:
(1)保障洁净环境:无杂质脱落,避免污染半导体晶圆,维持设备内部洁净度;
(2)抗刮擦损伤:日常操作或部件接触时不易产生划痕,减少因表面损伤导致的设备维护;
(3)适配精密装配:高纯度材质化学稳定性强,不与半导体工艺试剂反应,保障设备运行安全

4.适用场景
主要适配半导体设备场景:
(1)半导体设备内部隔板:如晶圆传输腔体内隔板,高纯度耐刮擦适配洁净传输环境;
(2)半导体检测设备载台:如晶圆检测载台面板,耐刮擦保障检测过程中表面平整;
(3)半导体封装设备部件:如封装模具衬板,高纯度无杂质避免影响封装质量

5.采购与服务保障
提供材质纯度检测报告与耐刮擦测试数据;15-20mm常规厚度现货供应,下单后48小时内发货;收货后15天内可复检纯度与外观,非人为问题支持退换